熱式質量流量計是熱式流量計的簡稱，具有體積小、數字化程度高、安裝方便，測量準確等優點。傳感器部分由兩個基準級鉑電阻溫度傳感器組成。采用橋式環路，一個傳感器測量流量溫度，另一個傳感器維持高于流體溫度的恒溫差，可以在高溫和高壓條件下進行流量測量。
熱式質量流量計的優點：
熱式質量流量計可測量低流速(氣體0.02~2m/s)微小流量;浸入式熱式質量流量計可測量低~中偏高流速(氣體2~60m/s)，插入式熱式質量流量計更適合于大管徑。
熱式質量流量計無活動部件，無分流管的熱分布式儀表無阻流件，壓力損失很小;帶分流管的熱分布式儀表和浸入性儀表，雖在測量管道中置有阻流件，但壓力損失也不大。
熱式質量流量計使用性能相對可靠。與推導式質量流量儀表相比，不需溫度傳感器，壓力傳感器和計算單元等，僅有流量傳感器，組成簡單，出現故障概率小。
熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不必用這些氣體專門標定，直接就用空氣標定的儀表，實驗證明差別僅2%左右；用于Ar、He等單原子氣體則乘系數1.4即；用于其他氣體可用比熱容換算，但偏差可能稍大些。
氣體的比熱容會隨著壓力溫度而變，但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數。
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